上海微电子“偏振器件透光轴标定装置及偏振器件透光轴标定方法” 专利公布

上海微电子装备（集团）股份有限公司近日公布一项专利——“偏振器件透光轴标定装置及偏振器件透光轴标定方法”（申请公布号：cn119437647a，申请公布日：2025年2月14日）。

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该专利技术利用线栅偏振片和旋转电机，通过测量光功率变化来精准标定偏振器件的透光轴。 当旋转电机驱动偏振器件旋转至光功率最小值时，表示线栅偏振片的刻画方向与偏振器件透光轴平行。 系统测量线栅偏振片刻画方向与机械基准的夹角Φ，偏振器件透光轴标记与机械基准的夹角α，以及光功率最小值时的电机旋转角度θ。 最终，通过计算Φ、α和θ，即可确定偏振器件透光轴相对于透光轴标记的角度，实现高效简便的透光轴标定。

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